ציוד מוליכים למחצה

בשדות הבאים:

ליטוגרפיה ישירה כתובה

עיבוד מיקרו לייזר
סרט דק דקפוזיציה LPCVD

מערכת ריסוס
תחריט יבש (RIE, ICP, ALD)

בחר & מקום ברזולוציה גבוהה
רקיק יחיד הרם תהליך רטוב ונקי

בקר זרימת מסת גז

תחנות בדיקה

ציפוי RI גבוה במיוחד

מערכת קירור תהליכים